(1)球焊工藝
球焊工藝的過程:將焊絲垂直插入毛細管鉚釘的工具中,焊絲在電火花的作用下被加熱融化成液態,並因表面張力。液滴使焊球接觸晶圓的鍵合區域,
對焊球加壓,在焊球和焊盤金屬之間形成冶金結合,完成焊接過程。當有鍵合點(焊盤)時,利用壓力和超聲波能量形成新月形焊點,鉚釘垂直移動切斷導線尾部,從而完成兩次焊接和一次電弧循環。
(2)楔形鍵合工藝
楔形鍵合工藝的過程:將導線插入楔形毛細管背面的一個小孔中,導線與晶圓鍵合區的平面成30°~60°的夾角。當楔形筋下降到焊盤的鍵合區時,
筋將導線壓在鍵合區表面,通過超聲波或熱超聲焊接實現第一點鍵合,然後筋提升並沿肋後部移動,孔按預定軌跡相應方向移動。當到達第二個鍵合點
(焊盤)時,利用壓力和超聲波能量形成第二個鍵合點,鉚釘垂直移動,切斷導線的尾部,從而完成兩個一焊一弧循環。